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王斌
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264
被引量:34
H指数:3
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西安电子科技大学
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陕西省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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一般工业技术
文化科学
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合作作者
胡辉勇
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
张鹤鸣
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
宣荣喜
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
宋建军
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
舒斌
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
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王斌
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一种SOI SiGe HBT平面集成器件及制备方法
本发明公开了一种SOI SiGe HBT平面集成器件及制备方法,其过程为:在SOI衬底上连续生长N-Si、P-SiGe、N-Si层,淀积介质层,制备浅槽隔离,光刻集电区浅槽隔离区域,制备集电区浅槽隔离,刻蚀并淀积介质层,...
宋建军
胡辉勇
吕懿
张鹤鸣
宣荣喜
王斌
舒斌
郝跃
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氮化硅膜致应变的锗锡中红外LED器件及其制备方法
本发明公开了一种氮化硅膜致应变的锗锡中红外LED器件及其制备方法,该红外LED器件包括硅衬底以及设置在硅衬底上的锗缓冲层,锗缓冲层上从左往右依次设有铝电极、横向P‑I‑N锗锡层、氮化硅层和铝电极,所述锗锡P‑I‑N结构上...
舒斌
陈景明
范林西
吴继宝
张鹤鸣
宣荣喜
胡辉勇
宋建军
王斌
文献传递
一种混合晶面应变Si垂直沟道BiCMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种混合晶面应变Si垂直沟道BiCMOS集成器件及制备方法。其过程为:制备一片SOI衬底,上层基体材料为(100)晶面,下层基体材料为(110)晶面;在衬底片上生长N型Si外延,制备深槽隔离,在双极器件区域制...
胡辉勇
宣荣喜
张鹤鸣
吕懿
王斌
舒斌
宋建军
郝跃
文献传递
近红外双波段等离子体Ge基光电探测器及其制备方法
本发明公开了一种近红外双波段等离子体Ge基光电探测器及其制备方法,该光电探测器包括本征Si衬底层,位于本征Si衬底层上方的绝缘反射层,位于绝缘反射层上方的本征Ge衬底层,位于本征Ge衬底层表面两侧的金属电极,以及位于金属...
王利明
魏颖
孙浩
胡辉勇
张一驰
王博
张蓓
邵际芳
苑西西
王斌
舒斌
一种固态等离子体PiN二极管及其制备方法
本发明涉及一种固态等离子体PiN二极管及其制备方法,该制备方法包括:选取SOI衬底;刻蚀SOI衬底形成隔离槽,填充隔离槽形成隔离区,隔离槽的深度大于等于SOI衬底的顶层硅的厚度;刻蚀SOI衬底形成P型沟槽和N型沟槽;在P...
王斌
苏汉
张鹤鸣
王禹
胡辉勇
舒斌
宋建军
宣荣喜
苗渊浩
文献传递
摄像机定标与单视测量技术研究
本文主要研究了与计算机视觉相关的两方面技术:摄像机定标技术与基于单视图像的测量技术。 基于平面模板的摄像机定标算法在摄像机定标技术中占有重要定位。这种算法通常要涉及到模板的识别与匹配。对于常用的棋盘格模板,传统...
王斌
关键词:
计算机视觉
摄像机定标
测量技术
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一种应变Si垂直沟道PMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种用微米级工艺制备应变Si垂直沟道PMOS集成器件及制备方法,该方法通过外延材料制备步骤、隔离制备步骤、漏连接区制备步骤和PMOS形成步骤,形成PMOS器件;最后通过构成PMOS集成电路步骤构成导电沟道长度...
张鹤鸣
王海栋
胡辉勇
宋建军
宣荣喜
王斌
周春宇
郝跃
基于台状有源区的固态等离子体PiN二极管及其制备方法
本发明涉及一种基于台状有源区的固态等离子体PiN二极管及其制备方法。该制备方法包括:(a)选取SOI衬底;(b)刻蚀SOI衬底形成台状有源区;(c)对所述台状有源区四周利用原位掺杂工艺分别淀积P型Si材料和N型Si材料形...
王斌
杨佳音
张鹤鸣
郝敏如
胡辉勇
宋建军
舒斌
宣荣喜
苏汉
文献传递
一种SOI SiGe BiCMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种制备SOI?SiGe?BiCMOS集成器件及制备方法,在SOI衬底上生长N型Si外延,制备浅槽隔离,形成集电极接触区,刻蚀形成侧墙,湿法刻蚀出基区窗口,选择性生长SiGe基区,光刻集电极窗口,淀积N型Po...
王斌
胡辉勇
张鹤鸣
周春宇
宋建军
王海栋
宣荣喜
郝跃
文献传递
一种基于自对准工艺的双多晶SOI SiGe HBT集成器件及制备方法
本发明适用于半导体集成电路技术领域,提供了一种基于自对准工艺的双多晶SOI SiGe HBT集成器件及制备方法,在SOI衬底上生长N型Si外延,光刻浅槽隔离区域,制备浅槽隔离,刻蚀并磷离子注入,形成集电极接触区,依次淀积...
胡辉勇
宋建军
王斌
张鹤鸣
宣荣喜
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