黄巍
- 作品数：11 被引量：18H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术电子电信更多>>
- 氮气辅助氙离子束增强沉积TiN薄膜及其机械性能被引量：2
- 1992年
- 本文提出一个合成TiN硬质薄膜的新方法,在氮气氛中,电子束蒸发沉积Ti的同时,用40keV的氙离子束对其进行轰击而合成TiN薄膜,该方法优于PVD和CVD之处在于合成温度低,薄膜与基体结合力强,其临界载荷达4.2kg,Knoop硬度达2200kg/mm^2,具有良好的耐磨损性能,报道了所合成的TiN薄膜在工业上应用的一些结果。
- 王曦杨根庆柳襄怀郑志宏黄巍周祖尧邹世昌
- 关键词：TIN薄膜离子束
- 氙离子束轰击对氮气氛中沉积钛膜的影响
- 采用氮气辅助氙离子束增强沉积方法合成了TiN薄膜。考察了氙离子束轰击对薄膜组份、结构、内应力、硬度以及粘着力的影响。
- 王曦杨根庆柳襄怀郑志宏黄巍邹世昌
- 关键词：离子束TIN
- 文献传递
- 离子束增强沉积制备氮化钛薄膜的计算机模拟
- 黄巍王曦周建坤
- 关键词：计算机模拟氮化钛离子束离子注入
- 离子束动态混合氮化钛薄膜生长及其组分和结构分析被引量：2
- 1992年
- 用电子束蒸发沉积钛和40keV氮离子束轰击同时进行的动态混合方法制备了氮化钛薄膜.RBS组分分析结果表明,离子束动态混合制备的氮化钛薄膜中的氧含量比不用离子束轰击的显著减少,薄膜的组分与离子原子到达比关系不大,主要受长膜过程中吸附效应的影响.随着蒸发沉积速率的提高,膜中氮含量下降,提高样品温度可获得同样效果.采用TEM和XRD对薄膜的结构进行分析测定,发现离子束动态混合制备的氮化钛薄膜主要由面心立方结构的TiN相构成,晶体取向随离子原子到达比(N/Ti)的增加,由<111>择优取向变到无择优的随机取向,然后再转变到<200>择优取向,合成的氮化钛薄膜具有良好的抗磨损性能,划痕试验表明薄膜与基体间结合力极强,临界载荷达10-15kg.
- 王曦柳襄怀郑志宏黄巍邹世昌
- 关键词：离子束混合氮化钛
- 用离子束技术改善Ni_3Al(0.1B)在H_2SO_4溶液中的耐蚀性能被引量：2
- 1992年
- 用多次扫描循环极化法研究经离子束表面改性的Ni_3Al(0.1B)在H_2SO_4溶液中的腐蚀行为。电化学测试和表面形貌的观察结果表明,离子注入、离子束混合和离子束辅助沉积技术对减缓Ni_3Al(0.1B)在用氧气饱和的1N H_2SO_4溶液中的腐蚀和改善钝化性能很有效果。
- 柳襄怀郑志宏黄巍林梓鑫邹世昌
- 关键词：NI3AL硫酸溶液耐蚀性
- TiN薄膜的合成及其性能研究被引量：1
- 1990年
- 用电子束蒸发沉积钛和40keV氮离子束轰击交替进行的办法合成了TiN薄膜。用RBS,AES,TEM,XPS,和X射线衍射研究TiN薄膜的组分和结构表明:用离子束增强沉积制备的TiN薄膜主要由TiN相构成;晶粒大小为30—40um,无择优取向;而非离子束轰击沉积的薄膜则是无定形的;用离子束增强沉积制备的TiN薄膜,其氧含量明显小于无离子束轰击薄膜的值;在TiN薄膜和衬底之间存在一个界面混合区,厚度为40um左右。机械性能测试表明,TiN薄膜具有高的显微硬度,低的摩擦系数。
- 周建坤柳襄怀陈酉善王曦郑志宏黄巍邹世昌
- 关键词：TIN膜离子束
- 95keV(N_2^+,N^+)注入Si制备SOI材料的研究
- 1992年
- 本文研究了用无质量分析的离子注入机进行95keV(N2^+,N^+)注入、高温退火和薄层外延获得的SOI(Silicon on Insulator)材料的结构与电学性质。结果表明,离子注入剂量是影响Si_3N_4埋层形成和上层硅质量的关键。
- 林成鲁李金华郑志宏黄巍邹世昌
- 关键词：SOI材料离子注入硅
- 离子束增强沉积合成氮化钛薄层的方法
- 本发明是一种用氙或氩或其它惰性气体离子束增强沉积合成氮化钛薄层的方法。属于用离子束对物件表面改性处理技术，本发明方法是将物件置于离子束增强沉积系统的靶室中，在电子束蒸发、沉积钛时，利用活性钛对通入靶室氮的吸附，用惰性气体...
- 郑志宏王曦周祖尧杨根庆柳襄怀黄巍邹世昌杨碕
- 文献传递
- 离子束增强沉积形成梯度薄膜被引量：12
- 1994年
- 在金属衬底（Ａｌ、钢、铝－碳纤维、Ｎｉ３Ａｌ）上用离子束增强沉积形成氮硅化物的梯度薄膜．在薄膜的一侧有很高的电阻（１０７Ω），而在另一侧电阻根低（１Ω），在绝缘层和导电层之间电阻呈梯度变化．对梯度薄膜的组分、硬度、附着力、疲劳寿命、抗腐蚀能力和抗高温氧化性能进行了测试和分析．
- 柳襄怀杨根庆王曦郑志宏黄巍邹世昌
- 关键词：离子束梯度薄膜
- 用离子束技术改善金属间化合物Ni_3Al(0.1B)的耐腐蚀和抗氧化性能研究
- 1994年
- 本文对用多种离子束技术进行表面处理的金属间化合物Ni_3Al(0.1B)进行耐腐蚀和抗氧化试验.结果表明,离子注入、离子束混合和离子束增强沉积对提高金属间化合物Ni_3Al(0.1B)在水溶液中的耐腐蚀性能和在纯氧中的高温抗氧化行为都有很好的效果.
- 柳襄怀王曦杨根庆江炳尧郑志宏黄巍林梓鑫邹世昌
- 关键词：NI3AL耐腐蚀抗氧化金属间化合物
