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陈晓娟

作品数：133 被引量：64H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划中国科学院重点实验室基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学化学工程医药卫生更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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