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陈猛
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56
被引量:20
H指数:3
供职机构:
清华大学
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合作作者
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈静
中国科学院上海微系统与信息技术...
董业民
中国科学院上海微系统与信息技术...
王湘
中国科学院上海微系统与信息技术...
林梓鑫
中国科学院上海微系统与信息技术...
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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陈静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:晶体管 浮体效应 阈值电压 SOI 存储器单元
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董业民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI工艺 注氧隔离 抗辐射 绝缘体 静电保护电路
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王湘
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 注氧隔离 键合 高温退火 离子注入
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林梓鑫
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 低剂量 硅 SIMOX
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易万兵
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI SIMOX 氧 氮 注氧隔离
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陈静
供职机构:苏州大学机电工程学院
研究主题:SIMOX圆片 低剂量 球磨 锗 SOI
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张恩霞
供职机构:上海工程技术大学材料工程学院
研究主题:SOI SIMOX 绝缘体上硅 SOI材料 抗辐照
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金波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 注氧隔离 SIMON 氧 高温退火
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李炜
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:场发射显示器 金刚石薄膜 非晶金刚石薄膜 类金刚石薄膜 光致发光
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